新華網成都3月23日（記者/李華梁）中國科學院光エレクトロニクス研究所のマイクロエレクトロニクス専用設備開発グループが紫外線ナノインプリントステッパーを自主開発した。同研究所が２３日明らかにした。ステッパーは半導體素子製造裝置の一つで、縮小投影型露光裝置。
（新華社より）
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中國の科學者、新型ステッパーを自主開発
新華網成都3月23日（記者/李華梁）中國科學院光エレクトロニクス研究所のマイクロエレクトロニクス専用設備開発グループが紫外線ナノインプリントステッパーを自主開発した。同研究所が２３日明らかにした。ステッパーは半導體素子製造裝置の一つで、縮小投影型露光裝置。
（新華社より）
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