8日,記者從國家市場監管總局獲悉,該局近日新批准二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質3項國家一級標準物質,這些物質能夠同時滿足納米製造産業角度和長度校準需求,為新一代信息技術、新材料、生物製造、高端裝備等領域的納米製造提供精準“標尺”。
據標準物質研製單位同濟大學相關專家介紹,研製高精度納米級標準物質,是打造高準確度納米測量傳遞鏈、提升國産納米製造産品質量可靠性的關鍵。二維鉻納米柵格標準物質突破性地採用分步沉積原子光刻技術,製備難度較大,可直接溯源到自然界量子化物理常數(鉻原子躍遷頻率),角度絕對準確性在0.001°量級,相當於把一個蛋糕按扇形均分成36萬份;二維鉻納米柵格的結構面積一般為300μm(微米)×300μm(微米),在沒有劃傷或破壞的狀況下,每次使用2μm(微米)×2μm(微米),不重復使用測量區域次數可達20000次以上。其可應用於晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準,也可應用於對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校準。
納米級角度標準物質的研製成功,實現了納米測量領域的扁平化計量,可通過在線校準直接將高精度計量數據傳遞到企業計量現場,避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大,將為我國納米製造産業高質量發展提供有力支撐。
據了解,國家市場監管總局將持續強化納米測量領域標準物質研製應用,進一步解決納米製造“測不了、測不全、測不準”問題,為築牢新興産業和未來産業技術基礎提供支撐保障。(記者付麗麗)
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