南京大學在下一代光電晶片領域取得進展

　　新華網南京11月3日電（記者陳席元）記者3日從南京大學獲悉，該校張勇、肖敏、祝世寧團隊用鐳射在鈮酸鋰晶體內部雕刻出三維結構，將加工精度從微米級提升到奈米級，為研制下一代光電晶片提供了新思路。相關成果近期在國際學術期刊《自然》發表。

　　據論文通訊作者、南京大學教授張勇介紹，鈮酸鋰是下一代光電晶片的重要載體。早在二十世紀八十年代，南京大學科研人員就在鈮酸鋰晶體中得到了尺度為幾微米的鐵電疇陣列結構，但要進一步提升這種晶體器件的性能，就需要在三維空間做出尺度更小、精度更高的結構。

　　本次實驗中，科研人員成功獲得了線寬100至400奈米的條形鐵電疇和尖端寬度30奈米的楔形鐵電疇，經過兩年的時效檢驗和300℃的高溫處理，鐵電疇依然存在，顯示其良好的穩定性。

　　“通俗地講，制備三維晶片的常用方法是對一個二維平面進行加工，然後一層層疊加；我們的方案是立體工藝，對一整塊材料由表及裏進行加工，並且在精度上達到了30奈米，較以往突破了兩個數量級，證明這種方案在原理上是可行的。”張勇説。

　　據介紹，該方案有望用于制備電光調制器、聲學濾波器等關鍵器件，在光計算、人工智慧等領域有廣泛的應用前景。（完）