微納電子器件實驗中心是依託西安交通大學微電子學院建設的校級實驗平台，實驗室按照半導體行業建廠質量管理體系要求建設，主要承擔半導體工藝開發、半導體器件研發與製備、器件可靠性測試三方面的研究工作。微納電子器件實驗中心目前擁有大型半導體相關設備三十余&，包括原子層沉積等高精薄膜沉積系統，電子束蒸發&等難熔物質沉積系統，超臨界處理等表面改性自研裝置，亞微米級線寬光刻機等半導體圖形製造系統，低溫高精探針&等半導體測試系統，設備範圍涵蓋了半導體材料到器件級的製備和表徵。平台對社會開放共享，實現了公共資源的充分利用。平台2021年8月投入使用，校內學術團隊目前依託該平台承擔國家級、省部級科研項目五十余項，完成校企合作研發項目二十余項，發表國內外高水平學術論文成果一百餘篇，為祖國的科學研究的發展進步作出了貢獻，同時為國內部分企業面臨的科學或工程問題，提供了原理分析和解決方案。

開放時間

8:30~18:30

詳細地址

陜西省西安市長安區釣&街道交大創新港四號巨構4-1026~4-1040

參觀預約方式

預約參觀

18702981698