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超級針X射線成像係統發布 分辨率小于1微米
2018-11-01 17:55:41 來源: 新華網
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  新華社合肥11月1日電(記者汪奧娜)記者從中國電科38所獲悉,由該所自主研制的新一代無損檢測設備——超級針X射線成像係統10月31日正式發布,分辨率小于1微米,有望改變當前集成電路封裝檢測設備“看不見”“看不清”等問題。

  據了解,超級針X射線成像係統分辨率小于1微米,相當于人類發絲的百分之一,成像清晰,性能穩定,它還具備較強的低能成像能力,使其在硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的精密檢測方面具有優勢。

  據悉,微焦點X射線成像係統是工業無損檢測的常規必備設備,能夠觀察物體內部的精細結構,其中X射線源的性能則直接決定了此類設備的檢測能力。超級針是一種理論上的最佳電子源。2011年,中國電科38所首次提出將超級針應用于微焦點X射線源的開發。經過近十年的技術攻關,超級針X射線成像係統最終順利問世。目前,中國電科38所針對該産品已申請30余項國內外發明專利,其中申請美、日、歐等國際專利12項。

  中國電科38所相關負責人表示,基于超級針X射線源技術,可面向集成電路、軍工航天、汽車電子、醫療診斷等不同應用領域,開發係列超級針X射線成像設備,實現産品係列化、多樣化開發,未來具有較大發展前景。

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【糾錯】 責任編輯: 王佳寧
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